服務熱線
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
EFEM兼容點膠機FAD5700?WH
集成解決方案開創晶圓加工新時代
使用晶圓陣列兼容軟件重新映射生產和圓角檢測結果（符合 SECS/GEM 標準）
關于售后服務
觀點
- 兼容半導體工藝（WLP/小芯片/異構芯片集成）
- 能夠在業界最高標準的KOZ上進行涂層
- 通過與EFEM連接可以實現全自動生產
- 能夠在業界最高標準的KOZ上進行涂層
- 通過與EFEM連接可以實現全自動生產
更新
- 配備多頭獨立控制及自動涂布重量修正功能。
- 有助于節省勞動力的最新用戶界面。
- 有助于節省勞動力的最新用戶界面。
?不間斷連續運行的高速對準：
Mu SKY Capture功能
?不間斷連續運行的高度測量：
Mu SKY Sensing功能
?自動管理涂布量：DVM功能
?防止質量缺陷：AFC功能
?晶圓、FOUP兼容
，晶圓映射功能
，結果重映射（兼容SECSGEM）*可選
什么是 EFEM（設備前端模塊）？
EFEM是一種裝載和卸載晶圓的模塊化設備，并自動從晶圓盒（FOUP：Front Opening Unified Pod）或稱為晶圓盒的容器中卸載晶圓，該容器在保持潔凈室標準的情況下存儲晶圓，并負責取出材料。并將其輸送至加工設備。
規格外形規格
姓名
分配大師
模型
FAD5700-WH
控制方式
PC/PLC 控制（符合 SMEMA）